Проблемы науки и технического прогресса. Микроэлектроника: достижения и пути развития

Автор(ы):Валиев К. А.
03.04.2023
Год изд.:1986
Описание: Книга посвящена развитию технической базы систем переработки информации - микроэлектронным интегральным схемам и их технологии. Показан путь, пройденный микроэлектроникой за 2 5 лет ее развития от создания схем малой степени интеграции до сверхбольших схем. Большое внимание уделено новейшим направлениям развития микроэлектроники и молекулярной электроники. Рассматриваются различные виды кремниевых интегральных схем, а также вопросы обеспечения их надежности и методы проектирования. Анализируются как достижения, так и нерешенные проблемы новых направлений микроэлектроники.
Оглавление:
Проблемы науки и технического прогресса. Микроэлектроника: достижения и пути развития — обложка книги. Обложка книги.
Список сокращений [5]
Предисловие [7]
Глава 1. Тенденции развития микроэлектронных интегральных схем [9]
  1.1. Конструкция и параметры интегральных схем [9]
  1.2. Законы масштабирования (скейлинга) [14]
  1.3. Ограничение быстродействия СБИС задержкой сигналов в соединениях [20]
  1.4. Архитектурные типы ИС [26]
  1.5. Стандартные ИС [27]
  1.6. Микропроцессорные комплекты БИС [29]
  1.7. Полузаказные и заказные БИС на матрицах логических ячеек [31]
  1.8. Полузаказные БИС на стандартных ячейках [32]
  1.9. Заказные (специализированные) БИС [33]
  1.10. Субсистемы на целой пластине [34]
  1.11. Трехмерные интегральные схемы [37]
  1.12. САПР БИС: от проектирования с помощью ЭВМ к кремниевому компилятору [43]
  1.13. Проблемы обеспечения надежности кремниевых ИС [48]
Глава 2. Микроэлектронные приборы на материалах AIHBV [57]
  2.1. Приборы на арсениде галлия (GaAs) [57]
  2.2. Молекулярно-лучевая эпитаксия [60]
  2.3. Приборы с гетеропереходами. Полевой транзистор на электронах с высокой подвижностью [61]
  2.4. Гетеропереходные биполярные транзисторы (ГПБТ) [64]
  2.5. Транзистор с проницаемой базой [67]
  2.6. Гетеропереходный туннельный транзистор на горячих электронах (ТТГЭ) [68]
  2.7. Сверхрешетки: синтетические полупроводники [70]
Глава 3. Сверхинтегрированные устройства памяти [72]
Глава 4. Криомикроэлектроника на сверхпроводниках [76]
Глава 5. Физические ограничения в микроэлектронных приборах [82]
Глава 6. Молекулярная электроника: идеи и проблемы [89]
Глава 7. Некоторые проблемы технологии микроэлектроники [95]
  7.1. Основные технологические процессы маршрута изготовления СБИС [95]
  7.2. Литографические системы микроэлектроники [102]
  7.3. Электронно-лучевые системы литографии [105]
  7.4. Ионно-лучевые литографические системы [115]
  7.5. Проекционные системы переноса изображения с шаблона на пластину [120]
  7.6. Системы теневого экспонирования [127]
Заключение [135]
Список литературы [136]
Формат: djvu + ocr
Размер:4305223 байт
Язык:РУС
Рейтинг: 1 Рейтинг
Открыть: Ссылка (RU)