Микропроцессорное управление технологическим оборудованием

Автор(ы):Сазонов А. А., Корнилов Р. В., Кохан Н. П. и др.
30.05.2022
Год изд.:1988
Описание: Рассмотрены структура технологических процессов получения интегральных микросхем, задачи и функции микропроцессорных систем управления оборудованием. Проведен анализ технических средств и основных подсистем оборудования. Приведены алгоритмы управления параметрами процессов и состоянием оборудования, дана их программная реализация с использованием проблемно-ориентированных языков и языков пользователя. Для студентов вузов приборостроительных специальностей.
Оглавление:
Микропроцессорное управление технологическим оборудованием — обложка книги. Обложка книги.
Предисловие [3]
Введение [4]
Глава 1. управление в производстве изделий микроэлектроники [5]
  1.1. Структура технологических процессов производства интегральных микросхем [5]
  1.2. Развитие технологического оборудования автоматизированного производства [10]
  1.3. Оборудование для обработки поверхности [15]
  1.4. Литографическое оборудование [26]
  1.5. Физико-термическое оборудование [32]
  1.6. Оборудование для нанесения слоев [36]
  1.7. Структура технологического оборудования [41]
Глава 2. средства автоматизации технологического оборудования [44]
  2.1. Управляющие устройства на базе микро ЭВМ и микропроцессорных комплектов БИС [44]
  2.2. Интерфейсы микропроцессорных систем [60]
  2.3. Устройства связи с объектом [68]
  2.4. Контроллеры [92]
  2.5. Измерительные преобразователи [101]
  2.6. Усилители и преобразователи сигналов [111]
Глава 3. структура и состав микропроцессорных систем управления [123]
  3.1. Структура микропроцессорных систем управления оборудованием [123]
  3.2. Многоуровневые системы децентрализованного управления [127]
  3.3. Подсистемы управления температурными режимами [129]
  3.4. Подсистемы управления плазмохимической обработкой [133]
  3.5. Подсистемы управления газовыми потоками [137]
  3.6. Подсистемы управления транспортными механизмами [142]
  3.7. Подсистемы отображения и документирования информации [143]
Глава 4. алгоритмы управления качеством технологических процессов [148]
  4.1. Задачи управления технологическим оборудованием [148]
  4.2. Алгоритмы управления параметрами технологических процессов [155]
  4.3. Алгоритмы управления последовательностью технологического цикла [163]
  4.4. Специальные алгоритмы обработки технологической информации [170]
  4.5. Алгоритмы диагностики работоспособности технологического оборудования [180]
  4.6. Методы аттестации средств автоматизации [184]
Глава 5. программное обеспечение микропроцессорных систем [196]
  5.1. Общие принципы построения программного обеспечения микропроцессорных систем [196]
  5.2. Язык ассемблера микро ЭВМ [199]
  5.3. Алгоритмический язык Паскаль [205]
  5.4. Языки программирования пользователя [214]
Глава 6. программирование задач управления оборудованием [224]
  6.1. Программирование задач управления параметрами [224]
  6.2. Программирование задач управления последовательностью технологического цикла [225]
  6.3. Программирование задач обработки информации [230]
  6.4. Программирование задач управления на языках пользователя [233]
Глава 7. примеры использования микропроцессоров в технологическом оборудовании [242]
  7.1. Оборудование для диффузионных процессов [242]
  7.2. Вакуумно-напылительное оборудование [247]
Список литературы [258]
Предметный указатель [259]
Формат: djvu
Размер:39158849 байт
Язык:РУС
Рейтинг: 85 Рейтинг
Открыть: Ссылка (RU)