Комбинированные электроразрядные геттерно-ионные вакуумные насосы
| Автор(ы): | Ахманов Ш. А., Галимарданов М. Ш., Островка С. Д., Решетняк И. П., Сайфуллин Р. X.
19.07.2008
|
| Описание: | В обзоре систематизированы сведения по комбинированным электроразрядным геттерно-ионным насосам и новейшим техническим решениям, касающимся магниторазрядных и геттерных испарительных насосов, их достоинства и недостатки, конструктивные особенности и вакуум-технические характеристики. В обзоре использованы опубликованные отечественные и зарубежные издания и патентные материалы. Обзор предназначен для специалистов, занимающихся вопросами создания безмасляиого сверхвысокого вакуума. |
| Оглавление: |
Введение [1] Магнитораэрядные насосы [2] Геттерные испарительные насосы [16] Комбинированные эпектрораэрядные геттероионные насосы [22] Выводы [34] Литература [36] |
| Формат: | djvu |
| Размер: | 1631771 байт |
| Язык: | РУС |
| Рейтинг: |
30
|
| Открыть: | Ссылка (RU) |