Комбинированные электроразрядные геттерно-ионные вакуумные насосы

Автор(ы):Ахманов Ш. А., Галимарданов М. Ш., Островка С. Д., Решетняк И. П., Сайфуллин Р. X.
19.07.2008
Описание: В обзоре систематизированы сведения по комбинированным электроразрядным геттерно-ионным насосам и новейшим техническим решениям, касающимся магниторазрядных и геттерных испарительных насосов, их достоинства и недостатки, конструктивные особенности и вакуум-технические характеристики. В обзоре использованы опубликованные отечественные и зарубежные издания и патентные материалы. Обзор предназначен для специалистов, занимающихся вопросами создания безмасляиого сверхвысокого вакуума.
Оглавление: Введение [1]
Магнитораэрядные насосы [2]
Геттерные испарительные насосы [16]
Комбинированные эпектрораэрядные геттероионные насосы [22]
Выводы [34]
Литература [36]
Формат: djvu
Размер:1631771 байт
Язык:РУС
Рейтинг: 153 Рейтинг
Открыть: