Технология полупроводникового кремния

Автор(ы):Фалькевич Э. С., Пульнер Э. О., Червоный И. Ф. и др.
06.10.2007
Год изд.:1992
Описание: Изложены физико-химические основы технологии полупроводникового кремния, рассмотрены свойства технологических материалов, влияние структурных несовершенств и термической обработки на электрофизические и физико-химические свойства кремния. Описаны процессы получения кремния и оборудование, в том числе вакуумное и криогенное. Рассмотрены способы получения кремния с заранее заданными свойствами, приведены области его примения. Значительное внимание уделено контролю качества продукции, технике безопасности в кремниевом поизводстве.
Оглавление:
Технология полупроводникового кремния — обложка книги. Обложка книги.
Предисловие [4]
Глава I. Физико-химические основы получения полупроводникового кремния [6]
  1. Современные представления о строении веществ [6]
  2. Кинетические явления [29]
  3. Основы термодинамики [34]
  4. Механизм фазового перехода [43]
  5. Структура межфазной границы раздела [47]
  6. Рост кристаллов из жидкой и газовой фаз [51]
Глава II. Свойства полупроводникового кремния и методы их контроля [93]
  1. Физико-химические свойства кремния [93]
  2. Параметры и методы их определения [96]
Глава III. Методы получения чистого кремния, оборудование и технология промежуточных кремнийсодержащих соединений [130]
  1. Производство чистого кремния [130]
  2. Получение технического кремния [137]
  3. Получение силанов [146]
  4. Очистка соединений кремния методом ректификации [187]
  5. Контроль качества кремнийсодержащих соединений [210]
Глава IV. Технология и оборудование для получения поликристаллических кремниевых стержней [213]
  1. Получение кремниевых стержней в процессе водородного восстановления хлор-силанов [213]
  2. Получение кремниевых стержней термическим разложением силана [242]
Глава V. Выращивание монокристаллов кремния из расплава [254]
  1. Метод Чохральского [254]
  2. Бестигельная зонная плавка [299]
  3. Чистота и микроклимат в производственных помещениях [335]
Глава VI. Вспомогательные технологические газы и оборудование [337]
  1. Технологические газы [337]
  2. Криогенная техника [354]
  3. Холодильные машины [365]
  4. Вакуумное оборудование [371]
  5. Очистка воды [383]
  6. Материалы аппаратов [386]
Глава VII. Основные элементы техники безопасности [389]
Библиографический список [399]
Формат: djvu
Размер:5192800 байт
Язык:RUS
Рейтинг: 376 Рейтинг
Открыть: